SU8020 超高分辨场发射扫描电子显微镜

仪器名称:日立超高分辨场发射扫描电子显微镜

型号:SU8020,出品商:日本 HITACHI 公司

安装地点:兰州化物所理化楼C107室

负责人:沈志强,联系电话:0931-4968133

   

工作特色:观察材料的精细表面结构

主要技术指标:

  二次电子图像分辨率:1.0 nm(加速电压 15 kV,WD=4 mm),1.3 nm(着陆电压 1 kV,WD=1.5 mm)

  放大倍率:20 — 2,000,000

  电子枪:冷场发射源

  加速电压:0.5 kV - 30 kV(标准模式)

  着陆电压:0.1 kV - 2.0 kV(减速模式)

主要功能:

  装备 EDAX Octane Ultra 能谱探头。用于观察材料的精细表面结构。